一、开机

1. 将前面板钥匙从“OFF”转经“START”后自动转回“ON”。

2. 电脑启动后，用户名为“S-3400”，密码无，单击“OK”键，进入系统。随后出现S-3400N 登陆框。用户名为“S-3400”，密码无，单击“OK”键，进入程序。

二、放置样品

1. 持续按住前面板“AIR”按钮1 秒以上至指示灯亮，或单击操作界面右上角“AIR”键至该键变为灰色。

2. 将处理完毕的样品固定于样品台上。打开样品仓，放入样品台，确认样品不能碰到样品仓口的限高片，平稳推入样品台。（注意：样品台加样品的高度略低于45mm，磁性样品不可以进行测试的）

3. 左手轻压样品仓门，右手按前面板“EVAC”按钮至指示灯亮，或单击操作界面左上角“EVAC”键至该键变为灰色。

三、样品观察

确认样品室已高真空，“ON”亮显后，选择合适的参数，单击操作界面左上角“ON”键，加高压进行观察。注意：加载高压范围为0.3-30Kv，移动范围为x：0.300-59.700；y：0.150-39.850，tp钱包官网正版下载不允许越界。

四、对中、聚焦及消像散

选择合适的光阑孔（经验值能谱用1、2孔， tpwallet官方版电镜照片为3、4孔）后，聚焦样品。若在聚焦过程中图像出现移动，则需进行物镜可动光阑对中（切换光阑孔后即需要进行物镜可动光阑对中）。

1. 单击操作界面上部“Align”键，出现“Alignment”对话框。

2. 选中“Aperture Align”，通过微调物镜光阑X、Y 旋钮至屏幕图象不发生摇摆且亮度最大（粗调）。调节控制盘的STIGMA / ALIGNMENT 的X和Y 旋钮（细调），至图像不再摇摆。

3. 选中Stigma Align. X/Y，通过微调STIGMA / ALIGNMENT的X和Y 旋钮，至图像沿着X/Y小幅度移动。

4. 调整完成后，关闭对话框。

五、选择扫描模式

单击“ Run / Freeze”键，屏幕轮换改变运行和冻结。F1/F2是普通模式，S1-S4为线扫模式（数值越大，线扫越慢，图像越接近最终结果），TV1/ TV2为小区域调整模式。

六、拍照

单击拍照键右上角的黑色三角，出现下拉菜单，不勾选“Scan Speed Link”选项，选择合适的分辨率和帧数，点击“ OK”后，在相应的扫描模式下，点击拍照键，就可保存图像。

单击“Captured Image”窗口中的图片，单击“Captured Image”窗口中的“Save”按钮，出现“Image Save [Direct Save]”对话框，可选择路径、文件名、保存信息和图像类型。

七、关机

1. 所有操作结束后，关闭高压，等待 1 分钟后，单击“AIR”键。注意：关闭高压必须等待1分钟以上，防止静电火花。

2. 当放气完成时，打开样品仓，取出样品；关闭样品仓，单击“ EVAC”键，当抽气完成时，单击操作界面右上角“关闭”键。出现“PC SEM”进度条。当进度条走完， SEM 程序即退出。注意：必须等到完全真空且未加载高压时方可关闭软件，关闭过程中不允许关闭电脑。

3. 关闭电脑，将前面板钥匙从“ON”转至“OFF”。